六个自由度（Six degrees of freedom）

基于笛卡尔直角坐标系内的任意刚体有六个自由度：三个平动自由度(x，y，z）和三个转动自由度（θx，θy，θz）。对于单轴的位移机构，理想的状况是：它只沿着我们要求的运动方向移动，在其它自由度上没有移动量，但实际上无法做到，所以我们除了控制好运动方向这个自由度以外，还需要约束其它五个自由度的运动。

分辨率（Resolution）

分辨率是指移动系统可以分辨的最小位置增量。这是一个理论值，针对电动平移台而言，分辨率是指步进电机接到一个脉冲时，位移台的移动量。但由于电脉冲可以通过驱动器进行细分（参见电移台综合说明中相关部分），所以理论上单个脉冲可以做到很小，也就是说理论上位移台的移动量可以做到很小（比如说：在丝杠导程为4mm，电机步距角为1.8°，将电脉冲进行256细分时，电移台的理论分辨率为0.078um）。

但实际上当细分数过高时，想要精确控制变得很困难，而且电机对高细分后的脉冲响应也会变差，所以高细分情况下经常会发生：给了脉冲不动，或运动后不准的情况。我们标称的分辨率（开环情况下）一般是在8细分情况下的指标，这个指标相对来讲是真实的。关于这部分内容，请您参阅电机部分的基础介绍。

平移台的分辨率可以用如下公式计算：

当丝杠导程为4mm，电机的步距角为1.8°，驱动器细分数为8时，

旋转台的角度分辨率可以用如下公式计算：

当电机的步距角为1.8°，蜗轮蜗杆的传动比为180：1，驱动器细分数为8时，

精度（Accuracy）：

精度往往被误解为最小移动增量（incremental motion），但最小增量实际上应该称为分辨率（Resolution），上面我们已经谈到，分辨率是一个理论值。严格意义上来说，精度是指绝对精度（Absolute Accuracy），也就是：对于一个给定的输入量，位移台运行后的实际位置。这个实际位置和理想位置，通常会有一定的差距，这就是误差。

平移台的（绝对）精度通常需要考虑到很多因素，包括控制部分、电机、联轴器、丝杠、导轨、连接用轴承等各个环节，都有可能影响平移台的（绝对）精度，对于旋转台或角位移台，也存在同样的情况。甚至在闭环系统中，光栅尺等装置本身的精度也会影响绝对精度。相关内容，请参照“电动位移台产品综合介绍”部分。

整套产品（或系统）的精度，虽然不是各个部件（或系统组件）误差的简单相加，但通常不会优于各个部件（或系统组件）的误差，这一点需要特别注意。比如，电移台的行程为200mm，假设螺杆全长为340mm，选用5级螺杆（精度23um/300mm），如果标称电移台的“精度”小于20um显然是不合适的。

重复定位精度（Repeatability）：

重复定位精度是指移动系统多次可达到一个既定点的能力，通常重复定位精度是指单个方向上的，这样能将“空回”的指标分开，避免数据混乱。

空回（Backlash）

空回是指不至引起反向可测量输出的最大输出量。通俗地讲，空回就是机械结构的间隙，比如：轴向预紧不够或传动元件的啮合间隙会导致空回。首先需要明确，复杂机械结构几乎都会有空回；另外，空回是相对稳定的，并且可以通过控制进行补偿。

非轴向误差（Off-Axis Error）

与约束的自由度方向相关的误差，包括非轴向线性误差和非轴向角度误差两个方面。

非轴向线性误差就是我们通常说的直线度，直线度分为两个正交分量，一个是垂直方向（Z方向）的直线度，称平直度（Flatness），也称为平行度、平面度；另一个是水平方向（Y方向）的直线度（Straightness），称直线度。

非轴向角度误差有三个相互垂直的分量，分别是：θz方向的偏摆（Yaw）、θy方向的俯仰（Pitch）和θx方向的转动（Roll）。

对于电动位移台系统，上述非轴向误差的说明图例如下图：

对于旋转台系统，轴向和非轴向的误差说明，请参照检验方法中的相关说明。